Hochschule Furtwangen - Smart Systems - Bereich Mikrosystemtechnik

© Fotografie Bernd Müller

In der Forschungsgruppe Mikrosystemtechnik werden Sensoren (u.a. für Druck, Schall, Feuchte, Medienanalyse) und Aktoren (Schalter, aktive Mikrospiegel, aktive taktile Displays, Energy Harvester) mit mikrosystemtechnischen Ansätzen (Simulation, Modellierung, Herstellung und Charakterisierung) entwickelt. Ein weiterer Schwerpunkt liegt in der Entwicklung von Mikro- und Nanotechnologien im eigenen Reinraum (Si-Linie).

Forschungsschwerpunkt / Know-how

- Mikrotechnologie

- Mikrosensoren und -aktoren

- Nanotechnologie

- Optische Systeme

- Multiphysics Simulation

- Mess- und Charakterisierungstechnik für Mikrosysteme

Ausstattung

- Si-Technologielabor mit einer Reinraumfläche von 270qm (4" Wafer, 5" Masken)

- Dünnschichtverfahren

- Lithographieverfahren inkl. Direktschreiben

- Ätzverfahren (naß und trocken)

- SEM

- AFM

Angebote

- Forschungsprojekte zur Mikrosystemtechnik (Sensorik/Aktorik)

- Patentrecherchen

- Herstellung von Demonstratoren

- Charakterisierung (Mikroskop, SEM, AFM etc.)

- Finite Elemente Simulation (Comsol)

Projektbeispiele

- Miniatur. Impulslärm-Dosimeter zur Untersuchung u. Vermeidung von Gehörschädigungen beim Menschen

- Entwicklung und Validierung eines miniaturisierten photonischen Biosensors

- Einsatz von einkristallinem Silizium als Werkzeugwerkstoff für Schneidprozesse von dünnen Folien

- Entwicklung eines neuen Verfahrens der hochpräzisen 3D-Mikrostrukturierung

- Entwicklung eines Geruchssensors für die Pflege

- Entwicklung eines taktilen Informationsgebers für Blinde

- Kapazitve Energy Harvester aus Bewegungsenergie

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Ulrich Mescheder

Ansprechpartner

Prof. Dr.
Ulrich Mescheder
Prorektor Forschung, Leiter Institut für Angewandte Forschung

Anschrift

Hochschule Furtwangen - Smart Systems - Bereich Mikrosystemtechnik

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78120 Furtwangen
Deutschland

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