LISA+

Das Center for Light-Matter Interaction, Sensors & Analytics (bzw. Licht-Materie-Interaktion, Sensorik und Analytik) LISA+ ist ein 2011 von Arbeitsgruppen aus Physik und Chemie gegründetes interdisziplinäres Forschungs-, Entwicklungs- und Service-Zentrum der Eberhard Karls Universität Tübingen.

 

LISA+ ist zentral verankert im Forschungs-Verfügungsgebäude auf dem mathematisch-naturwissenschaftlichen Campus „Auf der Morgenstelle“ der Universität Tübingen. In LISA+ werden fachübergreifend Projekte geplant und durchgeführt, wobei sowohl grundlegende Fragen als auch anwendungsnahe Fragestellungen in Kooperation mit externen Partnern (z.B. aus der Industrie) bearbeitet werden. Die Kooperationsmöglichkeiten reichen von kurzzeitigen Auftragsmessungen bis hin zu strategisch angelegten mehrjährigen Kooperationen.

Forschungsschwerpunkt / Know-how

• Dünnschichttechnologie/-analytik

• Mikro-/Nanostrukturierung

• Sensorik

• Licht-Materie-Wechselwirkung

• Mikroskopie (z.B. REM, AFM, FIB, Auger, Laser)

Ausstattung

Dünnschicht-Deposition:

UHV-Cluster, Aufdampfanlage mit Effusionszelle, LPCVD, PECVD von Kohlenstoff-Nanoröhren

 

Mikro-/Nano-Strukturierung:

Elektronenstrahl-Lithographie, Mask Aligner für Photo-/Nanoimprint-Lithographie, Zweistrahl-FIB, Ar-Ionenätzen, UHV Plasma-Ätzsystem, Verascher, RIE

 

Dünnschicht-/Oberflächen-Analytik:

UHV-STM, SAM, AFM, SEM mit EDX; EBSD; Lithographie, 4-Kreis XRD, RBS, XPS, FTIR, UV/VIS-Fluoreszenz & Transmissionsspektrometer, Ellipsometer, alpha-Step und optisches Mikroprofilometer, Kontaktwinkelmesser, Massenspektrometer mit Atmosphärenprobenkopf, GC/MS; 4-Spitzen-Messplatz

 

Raster-Laser-Mikroskopie, Ultrakurzzeit-Laser:

Parabolspiegel-basierte konfokale/Nahfeld Raster-Laser-Mikroskope, Einzelmolekül-Spektrometer, Tieftemperatur-Raster-Polarisations-Mikroskop

Angebote

• Beratung

• Analyse und Gutachten

• Projektplanung (bilateral, multilateral, öffentlich gefördert)

• Projektdurchführung (in Kooperation oder Auftragsarbeit)

• Aus- und Weiterbildung

Projektbeispiele

• Oberflächenanalytik mit Elementanalyse & Tiefenprofile

• Charakterisierung chemischer Sensoren unter Betriebsbedingungen

• Umsetzung funktioneller Mikro-/Nanostrukturen

• Machbarkeitsstudien

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Dieter Kölle

Ansprechpartner

Prof. Dr.
Dieter Kölle
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