Lasergestützte Spurengasanalyse
Empfindlicher (ppbv) und selektiver Nachweis molekularer Spezies (z. B. von Schadstoffen in der Luft) mit abstimmbaren IR-Lasern (Diodenlaser, optische parametrische Oszillatoren) mittels photoakustischen Detektionsverfahren
Lasergestützte Analyse mechanischer Film- und Materialeigenschaften
Bestimmung linearer elastischer Eigenschaften (z. B. Young´s Modul, Poisson-Verhältnis) und nichtlinearer Materialeigenschaften (z. B. Bruchfestigkeit) mit laserangeregten linearen und nichtlinearen Oberflächenwellenpulsen
Laserinduzierte Desorption, Ablation und Modifikation
Oberflächenreinigung, Abtragung und Modifikation (Strukturierung) mit UV- und VUV-Lasern, Detektion von Adsorbaten, Reaktions- und Ablationsprodukten mittels thermischer und lasergestützter UHV-Massenspektrometrie
Oberflächendiagnose (Spektroskopie und Chemie)
In-situ- und Realzeit-Analyse von Oberflächenreaktionen (z. B. Oxidation von Silizium) und Wachstumsprozessen mittels FTIR-Spektroskopie (Bindungsverhältnisse) und spektroskopischer VIS-UV Ellipsometrie (z. B. Filmdicke)
Beratung
Erstellung von Gutachten
Angewandte Forschung und Entwicklung
Qualitätskontrolle in der Materialforschung
Laserdiagnose
Oberflächenanalyse und Modifikation
Prof. Dr.
Peter
Hess
Steinbeis-Transferzentrum Laser Processing und Diagnostik
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69121 Heidelberg
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Dr. Thilo Schenk
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